O-50　(有)ビット・テック

燃料電池研究セル・半導体プロセス装置部品

『燃料電池研究アイテムと半導体装置用部品でお役に立ちます』

燃料電池セル・セパレーターは燃料電池や水素分解の実験研究用にMEAサイズやイオン交換膜のサイズに合わせたコンパクトなセルを規格化しています。セパレーターは水素ガス用の樹脂含浸カーボンや金属材で流路のオーダーメイド加工にも対応しています。
半導体製造プロセスに使用される真空プラズマ環境で使用される部品に多数実績があります。スパッタ装置シールドやCVDの電極、電子銃部品フィラメント等数多くの部品制作があり部品ユニットや基板の修理も行っています。
イオン注入装置用部品の実績が特に多く、なかでもソースヘッド電流導体であるエレクトロバスバーやAgストラップは少量多品種で製作しています

・燃料電池セル
・カーボンセパレーター
・イオン注入装置用エレクトリックストラップ

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